SRU有机溶剂回收系统应用于回收涂布工艺中有机溶剂挥发产生的废气并再利用,以达到环保的效果。
GTC精密恒温恒湿机用于平板显示、半导体制造等领域的精确温湿度控制,保证曝光机、显影/涂布设备等制程的优良率。
主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂的曝光机镜面防雾化, 去除吸入曝光机中的AMC污染物。