辅助设备 Facility
集成电路 IC

-
药液供给/回收系统为各研究所、高等院校等提供灵活的客户化定制机台,满足客户需求。
-
用于对硅片或其他工件表面进行刻蚀或清洗工艺的需求
光伏电池 Photovoltaic

-
药液供给/回收系统为各研究所、高等院校等提供灵活的客户化定制机台,满足客户需求。
-
用于对硅片或其他工件表面进行刻蚀或清洗工艺的需求
先进封装 Advanced Packaging

-
药液供给/回收系统为各研究所、高等院校等提供灵活的客户化定制机台,满足客户需求。
科研设备 R&D Equipment

微机电系统 MEMS

-
药液供给/回收系统为各研究所、高等院校等提供灵活的客户化定制机台,满足客户需求。
-
用于对硅片或其他工件表面进行刻蚀或清洗工艺的需求
半导体照明 LED

-
药液供给/回收系统为各研究所、高等院校等提供灵活的客户化定制机台,满足客户需求。
-
用于对硅片或其他工件表面进行刻蚀或清洗工艺的需求
功率器件 Power Devices

-
用于对硅片或其他工件表面进行刻蚀或清洗工艺的需求
节能环保 Energy Saving

-
GTC精密恒温恒湿机用于平板显示、半导体制造等领域的精确温湿度控制,保证曝光机、显影/涂布设备等制程的优良率。
平板显示 FPD

-
可应用于平板显示行业的热能回收系统TRU,针对设备生产过程中产生的热废气进行回收后再利用,用来加热冷空气,减小用电量,实现节能减排。
-
GTC精密恒温恒湿机用于平板显示、半导体制造等领域的精确温湿度控制,保证曝光机、显影/涂布设备等制程的优良率。